半导体高端封测废水怎么处理方法|半导体高端封测废水处理案例
半导体芯片高级测封匹配涉重废液——MVR強制循环法零排項目
品牌底色
半导体材料设备精致测封工程,面积150万m³/天,是第一例半导体材料设备测封生活配套涉重电镀废水处理工艺零排工程。测封步骤的镀镍、镀铜、引线框架结构的清洗会带来含镍含铜电镀废水处理工艺,产业园的要求"无尾水外排",产水完全工业废水处理于产线。
水的硬度特殊性与思路
废液以含镍主导(氧浓度10–100毫克/升),伴轻微铜、锌,pH冲击大(2–12),还是有光刻胶残渣的一点有机酸物。测封厂场所紧,规范要求工作公用设施征地赔偿小;零排代表着着浓水并不能土石方工程非常多,有必要当地蒸发掉析出开环。
治理 生产技术的路线
整体布局走"分质分类整理 → 预治疗除杂 → 化学反应析出除镍 → 活性炭过滤 → UF+多级RO → MVR强制性要求循环系统蒸发掉 → 空调蒸发器水工业废水处理":
含镍线先调pH到10–11,添加氢阳极氧化的钠制成Ni(OH)₂沉垫,另加混炼钠高度收集残留镍(混炼镍Ksp比氢阳极氧化的镍更小,可以把镍压到0.1毫克/升下);
水解水流经多媒质净化+安检员净化后进UF,再进四级RO,产水间接回产线家电清洗;
RO浓水(含盐+稳定度血本属)进MVR强行性要求反复汽化器,强行性要求反复能扛高含盐水垢,汽化器带有再线清洁,不宜堵;
MVR空气冷却水到中水回用洗手池,蒸发器残液委外焚烧处理或作为一个危险废弃物救治,所有工业区无气态外排。
关键点机优缺解释
MVR直接巡环相较于通常降膜挥发,巡环气速高、热传递面不会轻易结镍盐/碳酸盐垢,非常适合首测这样"容量较小但饮用水质杂"的场境;整体化撬装的设计拆迁赔偿比一般挥发塘+多效挥发实施方案小60%上;废气侧生活配套动物滤池,把改善池和工业废水间的废气获得后生物降解成CO₂和水,避开首测厂紧靠会议室区的异味重网络投诉。
净化处理治疗效果与经济收益
满水后镍≤0.1毫克/升、铜≤0.1毫克/升,不同于《真空电镀严重污染物质排出口细则》表三;整个150立米米/天产水造纸废水处理于测封产线清理,代用等量清爽水;危险废弃物(挥发残液+污泥干化)量比传统化"沉淀物中+排出口"摸式减约70%。对富士康侧,测封顶目环境分级管理卡点打伤通;