东莞某半导电子器件生所产生产商,晶圆加工制作历程中所产生含硅、氟的异常工业废水正确办理,装修设计正确办理占比1200吨/日。工业废水正确办理化学物质麻烦,含带奈米级硅颗粒物及氢氧化钠,传统化正确办理做法不好合格。
废水处理材质及来源于
核心生态破坏物
:氢氧化铁硅(100-500nm颗粒直径)、氟铁离子(200-300mg/L)、异丙醇
来原繁琐流程
:晶圆刻蚀工业废水处理工艺(45%)、CMP物理化学机械性打蜡 工业废水处理工艺(40%)、机器设备洗水(15%)
清理方法程序
转型升级分为"无机化学沉垫+持种膜分離"技术水平路经:
钙盐积淀
:污泥脱水氯化钙除去氟阴离子(转成CaF2积累)
斜板沉淀池现象
:复合型斜板沉淀池剂保证 电解质溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm孔直径膜虚报冒领微细颗粒物
反融入设备
:脱盐率>98%,回收并率75%
挥发结晶体
:浓水段满足氟化物零废气排放
终于特效
氟化物质量浓度:<8mg/L(高出地区1阶段规则10mg/L)
硅含磷量:<5mg/L
水的资源造纸废水处理率:70%中用放置密闭式冷却塔皮肤补水
危险废物回收利用:汽化渣滓量较民俗技艺下降60%