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含硅废水怎么处理方法|含硅废水处理案例

东莞某半导电子器件生所产生产商,晶圆加工制作历程中所产生含硅、氟的异常工业废水正确办理,装修设计正确办理占比1200吨/日。工业废水正确办理化学物质麻烦,含带奈米级硅颗粒物及氢氧化钠,传统化正确办理做法不好合格。 废水处理材质及来源于 核心生态破坏物 :氢氧化铁硅(100-500nm颗粒直径)、氟铁离子(200-300mg/L)、异丙醇 来原繁琐流程 :晶圆刻蚀工业废水处理工艺(45%)、CMP物理化学机械性打蜡 工业废水处理工艺(40%)、机器设备洗水(15%) 清理方法程序 转型升级分为"无机化学沉垫+持种膜分離"技术水平路经: 钙盐积淀 :污泥脱水氯化钙除去氟阴离子(转成CaF2积累) 斜板沉淀池现象 :复合型斜板沉淀池剂保证 电解质溶液硅脱稳 管式微滤 :0.1μm孔直径膜虚报冒领微细颗粒物 反融入设备 :脱盐率>98%,回收并率75% 挥发结晶体 :浓水段满足氟化物零废气排放 终于特效 氟化物质量浓度:<8mg/L(高出地区1阶段规则10mg/L) 硅含磷量:<5mg/L 水的资源造纸废水处理率:70%中用放置密闭式冷却塔皮肤补水 危险废物回收利用:汽化渣滓量较民俗技艺下降60%

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