某半导体芯片开发单位因晶圆的洗涤环节带来含氨废气,蓄水量200吨/天。废气中除氧化还原电位外还有效氟化物和微量分析巨资属,处置的难度大。本县产生基准符合要求氧化还原电位<5mg/L,氟化物<3mg/L。
生活污水基本成分及渠道
晶圆洁净生活污水(其主要来源于):含氧化还原电位200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀制作工艺废液:含轻微铜、镍等巨资属,pH值变化大
CMP磨研废水处理工艺:含硅颗粒剂及氯离子
治疗工艺设计注意事项
通过"无机化学奠定+膜离心分离+折点氯化"整合工艺流程:
预治理
:添加CaCl2除氟,控制pH在7.5-8.
反渗透装置平台
:剔除0.01μm不低于颗粒肥料物
反融于溶缩
:将化学需氧量原谅我真的喝醉了 因为我真的想你的 一不小心 我知道这样不应该 对你泰国依赖 至1000mg/L上面的
折点氯化
:精准的控制氯加药系统量,将化学需氧量转换成为氦气
阴离子交流
:安全保障天价属符合标准
从而作用
化学需氧量稳定可靠<3mg/L,氟化物<1mg/L
巨资属纯度大于在线检测限
水循环率达75%
生活污水有量少40%