该厂为8寸大晶圆工作线匹配的超蒸馏水体统，每顿饭行成含硅废水解决150吨。废水解决中虽无高价属，但硅分子量高易结渣，且电阻值率需符合18MΩ·cm才可以中水回用。本身解决技艺无发无法新颁布实施的《电子器材化工业水污染源物进行排放出标准规定》（GB39731-2020）有点进行排放出限制值。 废水处理方法的成分亮点 注意废弃物物 ：橡胶胶体部分硅（200-300mg/L）、科粒硅（孔径0.1-1μm） 特有需求 ：TOC<10μg/L，硼的含量<5μg/L 污水水质特征参数 ：低水的电导率（<50μS/cm）但硅化学物质特征麻烦 处置工艺设备操作流程 革新按照"梯级膜剥离 +电去阳离子"团体加工制作工艺 ： 微滤预备处理 ：1μm瓷质膜屏蔽短信大颗粒肥料硅，通量长期保持80LMH 化合物更换环氧树脂 ：D201大孔树酯选用性吸咐硅酸团伙 两级RO系統 ：一号段的回收利用率60%，最后段用到高脱硼膜元器件 EDI电去阳离子 ：电压电流黏度2A/m²，快速彻底清除残存正离子 分光光度计灭菌 ：254nm分光光度计线残留量40mJ/cm² 技能亮点纷呈 開發专属阻硅剂（有机酸胺类分手后复合物），减轻膜环境污染周期公式3倍 EDI板块不断创新流道装修设计，硅清掉率升降至99.8% 优酷云硅探讨仪（检测範圍0.1-500μg/L）保持招商精准保持 工作取得成效 经三、方检验： 总硅从280mg/L调至0.05mg/L 硼含量的从8μg/L下降0.3μg/L 系统收旧率从原40%提拔至68% 膜替换时期延伸至5年，年运营制造费下降35%